半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备在使用过程中产生的污染物分析。
适用范围：
• 阀、泵、流量计、过滤器及组件、管道、连接件、储罐、容器、桶、传感器，密封材料，物料原料等。
检测项目：
• 元素：锂、硼、钴、砷、银、钨、钠、钾、镁、钙、铁、锌、铜、铬、镍、铅、锰、铝、锑等
• 阴离子：SO42-, Cl-, NO2-、Br-、NO3-、PO43-, F-
• 阳离子：NH4+
• 颗粒：颗粒粒径0.1 – 1 um
• TOC
• 粗糙度
检测依据：
• SEMI F40/SEMI F57
检测仪器：
• 电感耦合等离子体质谱仪 (ICP-MS)
• 离子色谱 (IC)
• 液体颗粒计数器 （LPC）
• 总有机碳仪 （TOC）
• 粗糙度仪
