洁净车间及产线气态分子污染物（AMC）专业化检测服务，辅助企业对洁净室环境及相关位置的微量杂质进行监测和控制，提高产品良率，保障产品质量。

适用范围： 

洁净室气态分子污染物（AMC）

随着半导体、芯片、晶圆等高科技产品不断向微型化发展，洁净室环境面临着前所未有的挑战，在此背景下，AMC显得尤为重要，针对超低浓度气态化学污染物的检测难题，NOA挪亚检测提供专业的AMC检测技术支持，以及覆盖全流程的一站式洁净室检测解决方案。

检测项目：

•  SEMI F27

•  MA（Molecular Acids）酸性分子污染物：氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等

•  MB（Molecular Bases）碱性分子污染物：NH3、AMINE、NMP、HMDS等

•  MC（Molecular Condensable organic Compounds）可凝结的分子有机化合物：清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂成分残留。

•  MD（Molecular Dopants）分子掺杂物：扩散、离子注入和CVD等工序产生的硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B,H,)等

•  挥发性有机物分析（VOC）

•  现场采样

检测仪器：

•  气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）

•  气象色谱仪GC

•  电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)

•  离子色谱仪IC